Программа конференции HOLOEXPO 2021

Программа конференции HOLOEXPO 2021
Пленарное заседание «Современные тенденции развития голографии и прикладных оптических технологий»
 21.09.2021 15:20 Конференц-зал отеля «Приморье»


Прямая лазерная запись отражающих полутоновых микроизображений на тонких пленках хрома

В. П. Корольков1, Роман Игоревич Куц1, 2, А. Р. Саметов1, В. В. Черкашин1, С. К. Голубцов1, А. И. Малышев1

1 Институт автоматики и электрометрии СО РАН, Новосибирск, Россия
2 Новосибирский национальный исследовательский государственный университет, Новосибирск, Россия

В работе реализована технология прямой лазерной записи полутоновых микроизображений, работающих на отражение, на тонких (~50 нм) пленках хрома. Технология записи полутоновых отражающих микроизображений включает два технологических этапа: лазерную запись и жидкостное травление. Разработана методика воспроизведения зависимости отражения структур от мощности экспонирующего излучения. Достигнут контраст полутоновых изображений, превышающий 10 раз. Методика учитывает влияние толщины используемых пленок на формирование локального оксидного слоя: перед использованием новой серии напыленных пленок хрома, производится корректировка характеристической функции материала. Технология применима для создания как эталонных отражающих микроизображений так и отражающих амплитудных полутоновых ДОЭ.

Ключевые слова: Прямая лазерная запись, полутоновые микроизображения, пленки хрома, лазерное окисление, эталонные микроизображения, дифракционные оптические элементы.

Цитирование: Корольков, В. П. Прямая лазерная запись отражающих полутоновых микроизображений на тонких пленках хрома / В. П. Корольков, Р. И. Куц, А. Р. Саметов, В. В. Черкашин, С. К. Голубцов, А. И. Малышев // HOLOEXPO 2021 : XVIII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021.