Программа конференции HOLOEXPO 2022

Программа конференции HOLOEXPO 2022
Секция 11 «Динамическая голография»


Импульсная голографическая запись и диагностика объемных и тонкопленочных полупроводников методом динамических решеток

Алексей Леонидович Толстик, Е. В. Ивакин, И. Г. Даденков, А. А. Станкевич

Белорусский государственный университет, Минск, Беларусь

В работе продемонстрированы преимущества диагностики объемных полупроводников и тонкопленочных полупроводниковых структур методом пространственно-модуляционной спектроскопии. Метод основан на анализе кинетики процессов записи и релаксации тонких и объемных, пропускающих и отражательных динамических решеток. Показана эффективность выделения электронной и тепловой компонент нелинейности, дистанционного измерения параметров тонких (субмикронных) пленок, измерения нелинейно-оптических, кинетических и термооптических характеристик материалов, включая времена рекомбинации свободных носителей заряда и заселения ловушечных уровней, вклад тепловой нелинейности и коэффициент температуропроводности. Показана возможность оценки толщины оксидной пленки на поверхности полупроводника на основе анализа акустической компоненты в дифрагированном сигнале, обусловленной термическим возбуждением приповерхностного слоя воздуха.

Ключевые слова: голография, динамические решетки, полупроводники, тонкие пленки, оптические нелинейности, термооптика.