Программа конференции HOLOEXPO 2021

Программа конференции HOLOEXPO 2021
Секция 5 «Цифровая голография, оптико-голографическая обработка информации, голографическая интерферометрия, голографическая память»
 22.09.2021 17:35 Конференц-зал отеля «Приморье»


Применение интерференционных приборов для измерения параметров подложек лазерных зеркал

Ирина Юрьевна Цельмина1, Г. Н. Вишняков2

1 АО «Раменский приборостроительный завод», Раменское, Россия
2 ФГУП «Всероссийский научно исследовательский институт оптико-физических измерений», Москва, Россия

Основным элементом кольцевого лазера являются плоские и сферические зеркала. Коэффициент отражения и основные геометрические параметры зеркал на 70 % зависят от качества подложек этих зеркал, которые чаще всего изготавливаются из кварца и ситалла. Основные требования, предъявляемые к подложкам, — это оптическая чистота, форма и шероховатость поверхности, радиус кривизны и децентровка сферической поверхности. Для достижения и контроля заданных параметров подложек при разработке технологических процессов их изготовления широко применяются различные интерференционные приборы. В настоящей работе обобщен опыт применения интерференционных приборов на производстве, приведены результаты измерений при отработке технологического процесса изготовления подложек зеркал с применением линейки таких интерференционных средств измерений, как интерферометр «белого света», интерференционный профилометр ПИК-30, интерференционный микроскоп.

Ключевые слова: Интерферометр, Лазерные зеркала, Шероховатость, Радиус кривизны, Децентровка.

Цитирование: Цельмина, И. Ю. Применение интерференционных приборов для измерения параметров подложек лазерных зеркал / И. Ю. Цельмина, Г. Н. Вишняков // HOLOEXPO 2021 : XVIII Международная конференция по голографии и прикладным оптическим технологиям : Тезисы докладов. — М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2021.