Программа конференции HOLOEXPO 2022

Программа конференции HOLOEXPO 2022
Секция 7 «Интерферометрия и метрология»


Определение влияния качества кварцевого стекла на изготовления пластины маятника акселерометра

Ирина Юрьевна Цельмина

Раменский приборостроительный завод АО "РПЗ", Раменское, Россия

Прецизионные маятниковые кварцевые акселерометры предназначены для измерения линейных ускорений. Основным конструкционным элементом маятника является кварцевая пластина, от точности изготовления которой зависит чувствительность датчика. Предъявляются высокие требования как к геометрии пластин так и однородности материала, из которого они изготавливаются. Основными контролируемыми параметрами являются геометрия маятника и перемычек, обеспечивающих подвижность маятника, которые формируются методом травления. Оптимальный материал для изготовления пластины маятника - синтетическое кварцевое стекло типа КУ-1. Критичными параметрами для кварцевого материала в таких изделиях являются его оптическая однородность, отсутствие пузырей и включений, высокая добротность, отсутствие внутренних напряжений. Для получения заданных параметров, а также для отработки технологических процессов изготовления изделий необходимо применять интерференционные и микроскопические методы и средства измерений. В докладе приведены сравнительные результаты измерений пластин акселерометров из различных партий материала с применением таких средств измерений, как лазерный конфокальный сканирующий микроскоп с функцией профилометра и поляризационный микроскоп.

Ключевые слова: оптика, кварцевые акселерометры.